Microsystem Technology

Name: Microsystem Technology
Price: 122.4 EUR
Availability: Instock
Author: Oliver Paul
ISBN: 9783527296347

Oliver Paul

W Menz

Jürgen Mohr

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Oliver Paul et W Menz - Microsystem Technology.

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This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application aspects in medicine and health technology, lithography and electroplating.

- General Introduction to Microstructure Technology
- The Parallels to Microelectronics
- The Physical and Chemical Basics in Microtechnology
- Basic Technologies in MEMS
- Lithography
- Silicon Microsystem Technology
- The LIGA Process
- Alternative Processes of Microstructuring
- Packaging and Interconnecting Techniques (PIT)

Date de parution

17/01/2001
Editeur

Wiley-VCH
ISBN

3-527-29634-4
EAN

9783527296347
Présentation

Relié
Nb. de pages

500 pages
Poids

1.105 Kg
Dimensions

18,0 cm × 24,5 cm × 3,0 cm

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