Technologies génériques de microfabrication Tome 1
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- Nombre de pages326
- PrésentationRelié
- Poids0.69 kg
- Dimensions16,0 cm × 24,0 cm × 0,0 cm
- ISBN2-7462-0817-2
- EAN9782746208179
- Date de parution01/05/2004
- ÉditeurHermes Science Publications
Résumé
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi d'appréhender les limites de ces technologies.
