Technologies génériques de microfabrication Tome 1

Michel De Labachelerie

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  • Hermes Science Publications

  • Paru le : 12/05/2004
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Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm
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    • Pages : 326
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