Technologies génériques de microfabrication Tome 1

  • Hermes Science Publications

  • Paru le : 12/05/2004
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Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm
  • Caractéristiques du format PDF
    • Pages : 326
    • Taille : 8 560 Ko
    • Protection num. : Digital Watermarking
    • Transferts max. : Autorisé
    • Imprimable : 01 page(s) autorisée(s)
    • Copier coller : 01 page(s) autorisée(s)

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