Technologies génériques de microfabrication Tome 2
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- Nombre de pages330
- FormatPDF
- ISBN978-2-7462-2706-4
- EAN9782746227064
- Date de parution01/06/2008
- Copier Coller01 page(s) autorisée(s)
- Protection num.Digital Watermarking
- Taille8 Mo
- Transferts max.Autorisé
- Infos supplémentairesPDF avec Watermark
- ÉditeurHermes Science Publications
Résumé
Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré
