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- Poids0.285 kg
- EAN9783639607581
- ÉditeurUniv Européenne
A propos de Jérôme Dubois

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Nous nous focalisons ici sur la compréhension de la modification du matériau SiN induite par les plasmas de H2 et He, suivie d'une gravure chimique réalisée en solution de HF. Tout d'abord, un dépôt de conditionnement est développé pour prévenir la dégradation des parois et assurer la reproductibilité du procédé. Des diagnostics en plasmas de H2 et He sont ensuite réalisés pour déterminer la nature des ions, leurs flux et leurs énergies.
Enfin la modification du SiN est caractérisée par différentes techniques d'analyse de surface (FTIR, SIMS, TEM).","offers":{"@type":"Offer","priceCurrency":"EUR","price":64.89,"url":"/livre-pod/nouveau-procede-de-gravure-de-precision-nanometrique-en-plasmas-h2-he-9783639607581.html","availability":"https://schema.org/InStock"},"datePublished":"2018-11-01","isbn":"978-3-639-60758-1","publisher":{"@type":"Organization","name":"Univ Européenne"},"author":{"@type":"Person","name":"Jérôme Dubois","url":"/auteur/197660/jérôme+dubois"}}