Technologies génériques de microfabrication Tome 2 - E-book - PDF

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Michel De Labachelerie - Technologies génériques de microfabrication Tome 2.
Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques... Lire la suite
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Résumé

Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré

Caractéristiques

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